Nos capteurs de température
par technologies

Dès ses origines, CORREGE a développé une expertise pointue dans la mesure de température allant des applications cryogéniques à des températures supérieures à 1500°C avec une recherche continue de haute qualité et de grande précision de nos produits.

Les thermocouples

Le principe du thermocouple réside dans la génération d’une force électromotrice (f.e.m) provoquée par la jonction de 2 métaux de nature différente (jonction chaude) soumise à une température différente de 0°C, l’autre extrémité non jointe (jonction froide) étant à 0°C (valeur réelle ou compensée). Les thermocouples sont des solutions fiables et robustes avec un temps de réponse court pour prendre la température sur une large plage et peuvent être insérés dans des milieux à forte contraintes dimensionnelles. Enfin ces produits robustes offrent une bonne tenue aux régimes vibratoires. Nos thermocouples sont divisés en 3 familles principales :

 

Les thermocouples sont en conformité avec les classes de tolérances de la norme : EN 60584-2 – 07/1993

Avantages techniques

  • Adaptabilité géométrique (cintrage)
  • Faible encombrement (diamètre jusqu’à <0,5mm)
  • Bonne tenue vibratoire
  • Temps de réponse courts

Les thermocouples à isolant minéral

Beaucoup de thermocouples sont faits à partir d’un câble chemisé à isolant minéral. Plusieurs combinaisons de métaux peuvent être utilisées pour les conducteurs isolés par cette poudre minérale, le tout encapsulé dans une gaine métallique.

Cette technologie permet d’obtenir des produits robustes et peu intrusifs (petits diamètres) avec des propriétés uniques de mise en forme afin de s’adapter aux contraintes géométriques. Ces produits offrent une très bonne tenue vibratoire.

Les thermocouples chemisés peuvent avoir pour terminaison un connecteur, une tête ou être simplement reliés à un câble.

Head type immersion thermocouple with metalic protector

CTMTC type

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Immersion thermocouple with cable connection

PTMTC type

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Immersion thermocouple with connector

DTMTC type

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Les thermocouples à protecteurs métallique ou céramique

Souvent utilisés dans l’industrie de process ils répondent parfaitement à l’agressivité du milieu ou aux températures élevées.

Le thermocouple va être encapsulé dans un protecteur (ou doigt de gant) qui va être soit un tube métallique, soit une tube céramique au dessus de 1100°C. Le protecteur est fixé sur une tête de raccordement.

Ce produits renforcé assure une bonne rigidité et une parfaite étanchéité.

Avantages techniques

  • TC protégé de l’agressivité du milieu
  • Tenue en très haute températures

 

Head type thermocouple with metalic protector

CTOT Type

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Head type thermocouple with ceramic protector

CTPC type

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Les thermocouples à câble

La simplicité de son design, sans jonction, garantit une mise en œuvre simple et efficace à un faible coût.

Les températures d’utilisation sont limitées à la tenue en température du cable.

Ils peuvent être constitués d’un ou deux éléments de mesure en fonction des besoins : régulation, contrôle, enregistrement…. Différents systèmes de fixation sont possibles : fixes, démontables ou à ressort de compression pour assurer le contact avec le point de prise de température.

Le choix du câble se fait en fonction des températures à mesurer et d’ambiance, du niveau d’étanchéité requis ainsi que de la compatibilité à l’environnement de travail du capteur.

Avantages techniques

  • Simplicité du design sans jonction
  • Faible coût

 

Plate type thermocouple with cable connection

PT/PLAQ type

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Eyelet thermocouple with cable connection

PTRTV type

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Capteurs RTD

Le principe de la RTD (Resistance Temperature Detectors) réside dans la mesure de la variation d’une résistance de platine en fonction de la température appliquée à celle-ci.

Les capteurs RTD ou thermosondes sont des capteurs de température dont l’élément sensible est encapsulé dans des gaines de protection de différentes natures et dimensions, en fonction des applications. Trois types d’éléments sensibles sont utilisés : en couche mince sur substrat céramique, bobinés sur support céramique, ou bobinés sur verre.

La technologie RTD est plus précise et répétable dans le temps mais le temps de réponse sera plus long que celui des thermocouples et les RTD seront moins adaptées à des températures > 500°C.

Suivant les classes de tolérances des éléments sensibles, la précision standard est de + 0,05 °C à + 0,30 °C, à 0°C. La précision dépend aussi du type de montage – en 2, 3 ou 4 fils.

Avantages techniques

  • Conception simple
  • Précision
  • -253°C à + 500°C
  • Normée selon IEC 60751

Les thermosondes à câble

Son design garantit une mise en œuvre simple et efficace. La partie active, généralement de petite dimension, est prolongée par un câble souple de longueur variable, directement ou indirectement via un boitier de jonction indémontable. Les matériaux utilisés sont définis en fonction des conditions d’utilisation. Les sondes sont constituées d’1 ou 2 éléments de mesure en fonction des besoins : régulation, contrôle, enregistrement…

Immersion RTD sensor with lead wire

PS type

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Cable type immersion RTD sensor

PS MID type

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Avantages techniques

  • Cintrage géométrique
  • Précision
  • -253°C à + 500°C
  • Normée selon IEC 60751

Les thermosondes chemisées à isolant minéral

La partie active, généralement de petite dimension – diamètre de 2 à 5 mm – est prolongée par un câble à isolant minéral chemisé inox. Cette liaison autorise un cintrage sur tout ou partie du capteur hors de la zone active. Une soudure laser ou une brasure entre la zone active et le câble chemisé garantit une étanchéité parfaite. La connexion s’effectue via un câble, une tête de raccordement ou un connecteur.

Cable type RTD sensor with mineral insulation

PSMSC type

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Head type RTD sensor with mineral insulation

CSMSC type

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Avantages techniques

  • Robustesse
  • Précision
  • -253°C à + 500°C
  • Normée selon IEC 60751

Les thermosondes à tête

Ces capteurs sont principalement utilisés pour les mesures de température dans des environnements où la liaison filaire est séparée de la zone de prise de température (étuves, fours, conduits…). La partie active en contact avec le milieu est constituée d’un élément sensible sous tube métallique. La connexion s’effectue sur un bornier ou un transmetteur monté dans une tête de raccordement.

Head type RTD sensor

CSOT type

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Head type RTD sensor with mineral insulation

CSMSC type

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Principaux points techniques

  • Points techniques
  • Précision
  • -253°C à + 500°C
  • Normée selon IEC 60751

Les thermosondes à connecteur

La partie active en contact avec le milieu est constituée d’un élément sensible sous tube métallique. La connexion s’effectue avec un connecteur.

Box type RTD sensor

DSE Type

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Connector type RTD sensor

DSOT Type

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Wafers instrumentés

CORREGE a développé plusieurs capteurs de température spécifiques servant à la production des semi-conducteurs comme les wafers instrumentés ou les cannes multipoints. Nos wafers instrumentés de thermocouples permettent  d’établir des cartographies de température des zones des chucks où la connaissance et le contrôle de la température à la surface d’un Wafer sont essentiels.

 

 

Les Wafers instrumentés vendus sous les marques CORREGE et Thermo Electric sont utilisés pour calibrer des équipements pour le Traitement Thermique Rapide (RTP), le Recuit Thermique Rapide (RTA), la Cuisson Post-Exposition (PEB), le Dépôt Chimique en phase Vapeur (CVD), le Dépôt Physique en phase Vapeur (PVD), les implantations ION et d’autres processus thermiques.

Nous avons l’expertise pour concevoir et installer nos thermocouples sur une large gamme de substrats, y compris le silicium, l’AlTiC, le verre, la céramique et d’autres matières, mais aussi les substrats enduits ou à motifs.

Remplissez notre formulaire de devis personnalisé pour vos besoins spécifiques : 

COTEMP QUOTE FORM

TEDAQ – Système d’acquisition de données pour Wafers instrumentés

Un système d’acquisition de données (TEDAQ) a été développé pour permettre d’intégrer les données de mesure de température relevées par nos wafers instrumentés.

Un logiciel d’exploitation a été développé pour permettre une visualisation simple de la répartition des température dans la zone du chuck.

Notre TEDAQ offre une solution simple complétement intégrée compatible avec Windows.

Wafers instrumentés

TC-350H | High Performance | -50°C à 350°C
TC-350D | Heavy Duty | -50°C à 350°C
TC-700H | High Performance | -50°C à 700°C
TC-700D | High Duty | -50°C à 700°C
TC-1200 | High Temperature | -50°C à 1 200°C

Nos Wafers utilisent les éléments de détection les plus petits possibles pour réduire la masse thermique et augmenter le temps de réponse de chaque capteur. Le matériau utilisé pour fabriquer les capteurs est soigneusement choisi pour la plus grande précision possible et la plus grande uniformité de capteur à capteur.

Cette conception trouve une application là où connaître et contrôler la température à la surface d’une plaquette de silicium est critique. Contrairement à la plupart des fabricants qui intègrent leurs capteurs dans le cœur de la plaquette, notre produit concentre sa mesure sur la surface de la plaquette où se produisent les processus les plus vitaux. En utilisant notre produit, vous pouvez vous attendre à des temps de réponse plus rapides et plus précis résultant du placement le plus précis des éléments de détection.

correge-temperture-sensors-wafer

Wafers instrumentés – Bonded design (jusqu’à 700°C)

Le BTC-700H offre un profil plat et un alignement vertical précis de 2 tranches pour assurer une réponse rapide et précise. Ce produit répond aux changements de température statiques et dynamiques se produisant dans les processus typiques de collage de Wafers.

Le BTC700 s’utilise dans les équipements de collage des Wafers où il est nécessaire de connaître et de contrôler l’uniformité de la température sur les surfaces de Wafers de silicium d’accouplement. MEMS, MOEMS, silicium sur isolant (SOI), emballage au niveau de la tranche et empilement de puces en 3 dimensions sont les principales catégories techniques où la liaison de tranche est utilisée.

Thermocouples Spike & Profile

Les thermocouples Spike & Profile sont essentiels dans le contrôle de la température des processus de semi-conducteurs tels que les fours à diffusion.

Thermo Electric a développé une large gamme d’expertise dans les thermocouples en métaux précieux (type B, type S, type R) et fabrique des Spike & Profile de qualité à la pointe de la technologie auxquels peuvent faire confiance les processus de semi-conducteurs les plus rigoureux.

Ces cannes multi-points pour fours servent à la fabrication des wafers.

Accessoires

Autour des capteurs de température CORREGE accompagne ses clients en proposant des composants pyrométriques de manière individuelle.

Câbles

Connecteurs

Doigts de gant

Têtes