Semi-conducteur

CORREGE propose depuis plus de 10 ans des wafers instrumentés sur mesure, permettant de cartographier avec une précision extrême les températures réelles à la surface des chuck et dans les équipements de traitement.

Nos wafers instrumentés intègrent des thermocouples miniaturisés insérés dans différents types de substrats :

• Silicium

• AlTiC

• Verre

• Céramique

• Substrats revêtus ou gravés

Contrairement à d’autres technologies qui mesurent en profondeur, notre technologie concentre la mesure directement sur la surface de la plaquette, là où ont lieu les processus physiques et chimiques les plus critiques.

📏 Plages de mesure disponibles

Modèle Température d’utilisation Application typique

TC-350H / D -50°C à +350°C PEB, CVD, RTA

TC-700H / D -50°C à +700°C Collage de wafers

TC-1200 -50°C à +1200°C Recuit, RTP

Nos wafers instrumentés sont disponibles en version standard ou heavy duty, selon les contraintes mécaniques ou thermiques du procédé.

🖥️ Système TEDAQ – Acquisition et cartographie des températures

Pour une utilisation optimisée de nos wafers instrumentés, CORREGE propose le système TEDAQ, une solution complète d’acquisition de données compatible Windows :

• Interface intuitive pour visualisation thermique des chucks

• Synchronisation avec les cycles machine

• Exportation des données pour analyse ou traçabilité

• Optimisation des profils thermiques

🧠 Grâce à TEDAQ, nos clients optimisent le contrôle qualité de leurs procédés, réduisent les variations intra-lot, et accélèrent la mise en service de nouveaux équipements.

🔥 Applications clés de nos wafers instrumentés

Nos capteurs haute précision sont utilisés dans les procédés thermiques critiques suivants :

• RTP / RTA (Rapid Thermal Processing / Annealing)

• PEB (Post Exposure Bake – lithographie)

• CVD / PVD (Dépôts chimiques ou physiques en phase vapeur)

• Implantation ionique

• SOI / MEMS / 3D stacking

• Four de diffusion et oxydation thermique

Chaque application nécessite une précision et une reproductibilité thermique parfaite, garantie par nos capteurs.

🛠️ Spike & Profile : cannes multipoints pour diffusion

Les canne Spike & Profile sont essentielles dans les fours de diffusion utilisés pour la croissance d’oxyde ou l’introduction de dopants dans les wafers.

CORREGE, via Thermo Electric, conçoit des thermocouples multipoints haute température en métaux précieux (type S, R, B), capables de :

• Suivre les gradients thermiques dans la chambre de traitement

• Contrôler la stabilité du four

• Garantir l’uniformité de température sur toute la longueur du batch

Nos Spike & Profile sont fabriqués à partir de matériaux de haute pureté, pour éviter toute contamination dans les environnements ultra propres des salles blanches.

⚙️ Technologie Bonded pour applications de collage de wafers

Le modèle BTC-700H représente l’état de l’art pour les applications de collage de wafers, notamment pour :

• MEMS / MOEMS

• Technologies SOI (Silicon On Insulator)

• Packaging au niveau de la tranche (Wafer-Level Packaging)

• Empilement 3D

Avec un profil plat et un alignement vertical contrôlé entre deux wafers instrumentés, cette technologie permet de :

• Suivre en temps réel les températures pendant le collage

• Valider l’uniformité thermique sur la surface

• Réduire les défauts de liaison thermique

📈 Avantages de nos capteurs CORREGE pour semi-conducteurs

✅ Miniaturisation extrême des thermocouples

✅ Temps de réponse optimisé (grâce à une faible masse thermique)

✅ Excellente uniformité capteur à capteur

✅ Fabrication sur mesure selon diamètre, substrat, type de dépôt

✅ Traçabilité totale (n° de lot, fiche d’étalonnage, certificat matière)

✅ Compatibilité salles blanches et équipements industriels

✅ Assistance à l’intégration et à la calibration process

🔧 Services associés

CORREGE accompagne ses clients avec un ensemble de prestations complémentaires :

• Étude de besoin & faisabilité technique

• Développement sur mesure (substrat, température, géométrie)

• Essais thermiques / vibratoires

• Suivi qualité ISO 9001 & traçabilité métrologique

• Support à la qualification équipement

🧪 Vers l’électronique de demain

Grâce à cette expertise unique, CORREGE s’impose comme un partenaire de référence dans l’écosystème mondial des semi-conducteurs.

Avec ses solutions précises, robustes et personnalisables, CORREGE contribue activement à améliorer le rendement, la fiabilité et la productivité des procédés de fabrication microélectronique les plus avancés.